电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种：
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺a程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
高纯水设备性能优势：
1、可连续，稳定地生产高品质纯水，无需因树脂再生而停机；
2、无污染物排放，既环保又省去了废液处理的投资；
3、设备结构紧凑，占地面积小，节省空间，同时还具有节能优点；
4、出厂完成装置调试，现场工作量小，上岗培训容易；
5、日常保养，操作简单，劳动强度低。
6、脱盐率大于99.9%，效率远远高于两级反渗透和单纯的离子交换
