⒉预处理——反渗透——混床——抛光树脂
⒊预处理——反渗透——CEDI膜块——抛光树脂
传统超纯水制取设备工艺流程:原水——多介质过滤器——活性炭过滤器——一级除盐——混床——超纯水
膜法超纯水制取设备工艺流程:原水——超滤——反渗透——EDI——超纯水
在膜法工艺中，超滤，微滤替代澄清，石英砂过滤器，活性炭过滤器，除去水中的悬浮物胶体和有机物，降低浊度，SDI，COD等，可以实现反渗透装置对污水回用的安全，高效运行，以反渗透替代离子交换器脱盐，进一步除去有机物，胶体，细菌等杂质，可以保证反渗透出水满足EDI进水的要求，以EDI代替混床深度脱盐，利用电而不是酸碱对树脂再生，避免了二次污染。
